Neblux 知識圖譜
微機電系統
微機電系統（MEMS）利用微加工技術，將機械結構與電子功能整合成具有感測、致動及訊號處理能力的微型裝置。
概觀
MEMS 裝置的特徵尺寸通常介於一微米至數百微米之間，能與運動、壓力、溫度、化學濃度及光等物理現象進行感測或交互作用。體微加工、表面微加工與高深寬比微影等製程技術，在結構複雜度與製造限制之間提供不同的取捨。
為什麼重要
MEMS 技術實現了微型感測轉換元件的批次量產，廣泛應用於行動裝置中的慣性感測器、汽車系統中的壓力感測器、聲學麥克風以及光學投影中的微鏡陣列。