Neblux 知識グラフ
微小電気機械システム
微小電気機械システム（MEMS）は微細加工によって機械構造と電子機能を組み合わせ、検出・駆動・信号処理を行う小型の装置を作る。
概要
特徴寸法が1マイクロメートルから数百マイクロメートルのMEMSデバイスは、運動、圧力、温度、化学濃度、光などの物理現象を検出または制御する。バルクマイクロマシニング、サーフェスマイクロマシニング、高アスペクト比リソグラフィなどの製造手法により、構造の複雑性と製造上の制約のバランスが図られる。
なぜ重要か
MEMS技術は微小変換器の一括量産を可能にし、モバイル機器の慣性センサー、自動車の圧力センサー、音響マイクロフォン、光ディスプレイのマイクロミラーアレイなど幅広い実用化を支えている。